Cleaning liquid temperature measurement sensor – Cảm biến đo nhiệt độ chất lỏng tẩy rửa Kawaso

Trong quy trình làm sạch sau quá trình sản xuất wafer silicon (tấm bán dẫn silic)  và xử lý chuyển đổi thiết bị, việc kiểm soát nhiệt độ của chất lỏng làm sạch là rất quan trọng để tránh làm giảm chất lượng wafer ( tấm bán dẫn)  và nhiễm bẩn trong phòng sạch.

Điện trở loại ống bảo vệ bằng kim loại và loại vỏ bọc thường được sử dụng rộng rãi cho các cảm biến, nhưng nếu sử dụng kim loại, có lo ngại rằng chất lỏng tẩy rửa sẽ bị nhiễm bẩn. Để giải quyết vấn đề này, Kawaso đã thương mại hóa cảm biến nhiệt độ điện trở với cấu trúc ống đôi sử dụng fluororesin (FEP) cho ống bên ngoài và thạch anh cho ống bên trong.

Ứng dụng:

Cảm biến đo nhiệt độ Kawaso  có thể được sử dụng để đo nhiệt độ của chất lỏng và hóa chất làm sạch chất bán dẫn. Ngoài ra, nó được khuyến khích sử dụng trong môi trường mà kim loại rửa giải hoặc ăn mòn.

Nếu cần thiết phải uốn phần ống bảo vệ, ống bên trong có thể được sản xuất như loại FEP. Ngoài ra, người ta cũng có thể sản xuất các ống bảo vệ bằng Teflon khác nhau ngoài FEP.

Đặc tính:

1. Cấu trúc ống đôi cải thiện khả năng bảo vệ khỏi chất lỏng tẩy rửa và kéo dài tuổi thọ của cảm biến.

2. Trong số nhiều fluororesin, nhựa FEP, có độ thẩm thấu tuyệt vời và dải nhiệt độ hoạt động, được sử dụng cho ống bên ngoài, và thạch anh, có tính dẫn nhiệt cao và có khả năng chống lại chất lỏng và hóa chất tẩy rửa cao, được sử dụng cho ống bên trong. Tôi đang sử dụng.

3. Ngay cả khi thạch anh trong ống bên trong bị hỏng, FEP ở ống bên ngoài sẽ chặn lại, do đó sẽ không có sự phân tán của các mảnh vụn thạch anh vào bể chất lỏng.

Thông số kỹ thuật:

Cảm biến : Ceramic platinum resistance temperature

Giá trị điện trở: 100Ω (at 0 ° C)

Cấp : JIS B class 1mA (standard)

Loại dây dẫn: 3 conductor type

Nhiệt độ hoạt động: -100 ° C to + 200 ° C

Vật liệu ống bảo vệ : FEP (4.6 Fluororesin )

Đường kính ngoài ống bảo vệ : φ5 mm (tiêu chuẩn)

Chiều dài ống bảo vệ: 500 mm (tiêu chuẩn)

Thông số kỹ thuật chi tiết:

http://www.kawaso.co.jp/products/%e6%b4%97%e6%b5%84%e6%b6%b2%e6%b8%a9%e5%ba%a6%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e7%94%a8%e3%82%bb%e3%83%b3%e3%82%b5

Các phiên bản của Cleaning liquid temperature measurement sensor

  • Type A
  • Type B
  • Type C